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如何解决硅片切割面崩裂?

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如何解决硅片切割面崩裂?

发布日期:2018-10-25 作者:中亚 点击:

硅片切割液固液分离设备厂家中亚小编今天和大家谈谈关于硅片切割面崩裂的问题要如何解决。

硅片的切割过程是由钢线和砂浆共同完成的,其中砂浆是由碳化硅和切割液按照一定比例配制成的,具有一定的粘度和密度,而实际起到切割作用的是碳化硅颗粒。钢线环绕纠缠在切割室导轮上形成平整的线网,切割过程中,砂浆高速滚动,从浆料嘴流出的砂浆因为切割液的悬浮作用使得碳化硅颗粒包裹在钢线表面,跟着钢线的滚动,对硅块产生碰撞摩擦,因为碳化硅的莫氏硬度为9.5,硅的莫氏硬度为7,碳化硅的硬度大于硅的硬度,从而起到切割作用。


硅片切割液固液分离设备


钢线切割至硅块粘接面时会经由三类介质,即硅块、胶层和玻璃,因为三种介质的硬度不同钢线在经由三种介质时受到应力作用被崩开,造成硅落,产生胶面崩边。另外三种介质熔点不同,切割过程中产生的高温顺热量会使胶层和玻璃软化,影响钢线携砂能力,增大出刀锯痕,导致产生胶面崩边。为降低出产本钱,小槽距细钢线切割已成为当前切片行业的趋势,但是因为钢线直径变细,携砂能力会受到一定影响;另一方面槽距减小,出片数增多,切割面积增大,也会加剧对碳化硅的磨损和破碎,从而降低砂浆的切割能力。特别是切割至出刀位置,碳化硅棱角被磨圆,切割能力进一步降低,因此不可避免会存在线弓(一般地,线弓为5-7mm)。

针对此问题,可采取的措施是:

(1)调整出刀工艺,在硅块切割至出刀位置时提前降低工作台速度,这样有利于增加砂浆的轮回量,弥补砂浆切割能力不足的题目。

(2)因为出刀期间台速较慢,若砂浆流量过大,砂浆活动造成的冲击力轻易使钢线崩开造成胶面崩边,因此出刀期间的砂浆流量应适当减小。

(3)进步出刀期间砂浆的切割能力,这可以通过改变砂浆的更新方式实现。通常,砂浆更新是在每锯硅片切割结束后进行,为增加切割后期砂浆的切割能力,我们可以选择在每锯切割至90%时更新砂浆,这样可以有效减小出刀线弓,减小出刀锯痕和对钢线的作用力。

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